EUV High-NA tăng các yêu cầu chính xác đối với thiết bị bán dẫn

EUV High-NA tăng các yêu cầu chính xác đối với thiết bị bán dẫn

Ngành công nghiệp bán dẫn đang chuyển sang giai đoạn thu nhỏ khó khăn khác.

Thách thức không còn đơn giản là sản xuất bóng bán dẫn nhỏ hơn nữa. Các nhà sản xuất bán dẫn cũng đang tìm kiếm các thiết bị có khả năng duy trì kiểm soát quá trình cực kỳ chặt chẽ như các kiến trúc chip trở nên phức tạp hơn.

In thạch bản high Na EUV là một trong những công nghệ trung tâm của quá trình chuyển đổi này.

Những phát triển gần đây cho thấy công nghệ này đang vượt ra ngoài các cuộc thảo luận trong phòng thí nghiệm hướng tới áp dụng công nghiệp rộng hơn. Reuters thông báo vào ngày 14 tháng 9 rằng ASML' Các hệ thống High-NA EUV thế hệ tiếp theo đang thấy sự quan tâm mạnh mẽ từ các nhà sản xuất chip lớn...với TSMC...Samsung và SK Hynix trong các công ty đang chuẩn bị áp dụng trong tương lai.

Đối với ngành công nghiệp điều khiển chuyển động, sự phát triển có một ý nghĩa quan trọng:

Độ chính xác của thiết bị bán dẫn ngày càng phụ thuộc vào hiệu suất của mọi chuyển động bên trong máy.

Thiết bị bán dẫn phụ thuộc vào chuyển động có kiểm soát

Một hệ thống in thạch bản là một mảnh thiết bị cực kỳ phức tạp, nhưng nguyên tắc tương tự được áp dụng trong sản xuất bán dẫn.

Hệ thống xử lý dịch chuyển cần được kiểm soát.

Thiết bị kiểm tra cần định vị lại.

Các cơ chế liên kết cần chuyển động quay ổn định hoặc chuyển động tuyến tính.

Hệ thống xử lý vật liệu cần gia tốc dự đoán được và giảm tốc.

Thiết bị quá trình cần các thành phần di chuyển chính xác mà không cần phải giới thiệu độ rung không cần thiết.

Những yêu cầu này đặt các điều kiện đòi hỏi trên động cơ, vòng bi, hướng dẫn tuyến tính, hộp số và các thành phần truyền tải khác.

High-NA EUV đẩy hiệu suất thiết bị xa hơn nữa

ASML' Công nghệ s High-NA EUV được thiết kế để hỗ trợ việc tiếp tục mở rộng sản xuất chất bán dẫn tiên tiến.

Reuters báo cáo rằng thế hệ hiện tại của các công cụ EUV có thể xử lý chip lên đến khoảng 800 mm vuông, trong khi ASML đang làm việc với các mặt nạ lớn hơn cho các hệ thống High-NA để công nghệ cuối cùng có thể hỗ trợ các chip trung tâm dữ liệu lớn hơn. Công ty này hy vọng sự phát triển này sẽ cải thiện năng suất.

Tiến bộ kỹ thuật nêu bật một xu hướng rộng hơn trong thiết bị bán dẫn.

Khi cửa sổ quy trình trở nên chặt chẽ hơn, các nhà sản xuất thiết bị có ít chỗ cho lỗi cơ học hơn.

Một hệ thống định vị hoạt động đầy đủ cho một ứng dụng thông thường có thể không phù hợp cho một quá trình đòi hỏi độ ổn định và độ lặp lại cao hơn đáng kể.

Khi nào điều khiển chuyển động trở nên then chốt

Sự chuyển động bên trong các thiết bị bán dẫn thường không đáng kể.

Một sân khấu có thể chỉ di chuyển một khoảng cách ngắn.

Một cơ chế quay có thể xoay qua một góc nhỏ.

Cơ chế xử lý wafer có thể liên tục thực hiện các chuyển động tương tự.

Nhưng sự lặp lại thay đổi yêu cầu của ngành kỹ thuật.

Hệ thống có thể cần thực hiện cùng một chuyển động hàng ngàn hoặc hàng triệu lần trong khi vẫn duy trì hành vi có thể dự đoán được.

Phản ứng dữ dội, rung, độ cứng, độ chính xác định vị và hành vi nhiệt do đó có thể trở thành những cân nhắc quan trọng khi chọn các thành phần truyền tải.

Đây là một lý do tại sao hộp số hành tinh, chất khử hài hòa, cơ chế quay và hệ thống chuyển động tuyến tính tiếp tục có các ứng dụng trong các thiết bị liên quan đến chất bán dẫn.

Hộp số chỉ là một phần của hệ thống

Một hộp số chính xác không thể bù cho một động cơ không phù hợp, cấu trúc cơ học kém hoặc hệ thống kiểm soát không đầy đủ.

Việc truyền tải cần phải làm việc cùng với phần còn lại của hệ thống chuyển động.

Ví dụ, động cơ servo có thể cung cấp tốc độ và phản ứng động cần thiết, trong khi hộp số hành tinh cung cấp phép nhân mô-men xoắn và điều khiển giảm tốc độ.

Một hộp số điều hòa có thể được chọn nơi cần có kích thước compact và truyền quay chính xác.

Một hộp số góc phải có thể giải quyết một vấn đề bố trí cơ học khi động cơ không thể được cài đặt phù hợp với trục định hướng.

Một động cơ tuyến tính hoặc cơ chế điều khiển màn hình có thể được sử dụng khi máy yêu cầu chuyển động tuyến tính có điều khiển.

Sự lựa chọn chính xác phụ thuộc vào trục chứ không chỉ đơn giản là tên ngành.

Rung và phản ứng dữ liệu quan trọng trong thiết bị chính xác

Nói chung máy móc công nghiệp, một lượng nhỏ các trò chơi cơ khí có thể có ảnh hưởng ít đến sản xuất.

Thiết bị bán dẫn chính xác thì khác nhau.

Chuyển động không mong muốn có thể ảnh hưởng đến sự sắp xếp, định vị và lặp lại. Rung động cơ học cũng có thể ảnh hưởng đến hiệu suất của các quá trình nhạy cảm.

Điều này làm cho các đặc điểm truyền tải như phản ứng dữ dội và độ cứng torsional quan trọng trong thiết kế thiết bị.

Đối với các nhà xây dựng máy OEM, quá trình lựa chọn hộp số do đó cần phải bắt đầu với yêu cầu chuyển động hoàn toàn chứ không phải là một so sánh đơn giản của mô men danh nghĩa.

Thiết bị bán dẫn đang trở nên tích hợp hơn

Một thay đổi khác là sự tích hợp ngày càng tăng của các hệ thống cơ khí và điện tử.

Bộ điều khiển chuyển động, dẫn động servo, động cơ, cảm biến và các thành phần truyền động cơ khí ngày càng hoạt động như một hệ thống phối hợp.

Phương tiện truyền thông đại chúng ' Danh mục sản phẩm s bao gồm độ chính xácHộp số của hành tinh, Những điều hòa cắt, Những bản cắt RVCác hộp số góc phải, nền tảng quay, động cơ và sản phẩm chuyển động tuyến tính cho tự động hóa công nghiệp và thiết bị chính xác.

Đối với các nhà sản xuất thiết bị, loại sản phẩm này cho phép các công nghệ truyền tải khác nhau được xem xét theo yêu cầu của từng trục máy riêng lẻ.

Điều này có nghĩa gì với các nhà cung cấp linh kiện chuyển động

Sự phát triển của High-NA EUV là một ví dụ về một xu hướng rộng hơn trong sản xuất tiên tiến.

Càng đòi hỏi quá trình sản xuất, các nhà sản xuất thiết bị chú ý càng cần đưa ra các chi tiết cơ khí đã từng bị coi là hiển nhiên.

Gearbox không xác định hiệu suất của một máy bán dẫn một mình.

Nhưng sự ổn định, lặp lại và hành vi cơ học của mỗi giai đoạn truyền có thể góp phần vào hiệu suất của các thiết bị hoàn chỉnh.

Truyền thông Hoa Đối với các nhà cung cấp các thành phần chuyển động chính xác, cơ hội được kết nối chặt chẽ với kỹ thuật thiết bị.

Hiểu được các ứng dụng, động cơ, tải, tốc độ, không gian cài đặt và các yêu cầu định vị thường hữu ích hơn đơn giản là cung cấp một hộp số tiêu chuẩn.

Khi thiết bị bán dẫn tiếp tục phát triển, phương pháp tiếp cận mức ứng dụng sẽ vẫn quan trọng đối với thế hệ tiếp theo của sản xuất chính xác.